发明名称 Method of manufacturing SOI wafer
摘要
申请公布号 KR100505404(B1) 申请公布日期 2005.08.04
申请号 KR19990023415 申请日期 1999.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/46;(IPC1-7):H01L21/46 主分类号 H01L21/46
代理机构 代理人
主权项
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