| 主权项 |
1.从被设置在一喷镀室中而且由一足以 产生和保持一溅散电浆之直流电源被 激发之一溅散阴极组件移除导电材料 之一短沈积物之一方法,其特征为 下列步骤(a)切断从直流电源至阴极组 件之直流窜之供应,和(b)供应足以蒸发 该沈积物而不足以产生一溅散电浆之 电能至阴极组件。2.如请求专利部份第1.项之方法 ,其特 征为该电能从一具有不足以产生一溅 散电浆之输出电压之高功交流电源被 供应。3.如请求专利部份第1.或2.项之方法, 其特征为步骤(b)被继续一预定时间期 限其正常地足以蒸发短路沈积物,而 且按着跟随步骤(c)恢复电力供应从直 流电源至阴极组件。4.如请求专利部份第3.项之一 方法,其 特征为监测标示有阴极组件之短路之 参数,而且重复步骤(a!和(b)如果参数 被监测于步骤(c)仍然标示有阴极组件 之短路。5.如请求专利部份第4项之一方法,其特 征为步I(a),(b)和(c)被重复一预定次 数,按着关闭喷镀室如果被监测之参数 在重复该些步骤(a),(b)和(c)该些预定次 数之后仍标示有阴极组件之短路。6.如请求专利 部份第3.,4.或5.项之一 方法,其特征为一第一次停止被插入 在步骤(a)和(b)之间,和一第二次停止 被插入在步骤(b)和(c)之间。7.如请求专利部份第3. ,4.,5.或6.项 之一方法,其特征为步骤(c)包括跳起 该直流电源根据一预定电压分布图。8.一装置用 以从被设置在--喷镆室中而 且被连接至一足以产生和保持一溅散 电浆于喷镀室中之直流电源之一溅散 阴极组件移除导电材料之一短路沈积 物,其特征为一辅助电源(72)能 供应电能其足以蒸发短路沈积物并不 足以产生一溅散电浆;和装置(68 一86,90或110一114)用以任择 其一地连接直流和辅助电源(60和 72 )其中之一至该阴极组件(52 或54 )。9.如请求专利部份第8.项之一装置,其 特征为该些连接装置包括被连接于直 流电源(60 )和阴极组件(52或 54 )之间的第一开关装置(68,70 ),被连接于辅助电源(72 )和阴 极组件之间的第二开关装置(80 86),和控制装置(90或110一 114)用以操作该些第一和第二开关 装置以一方式如切断甯力供应从直流 电源(60)至阴极组件(52 ;54 )并连接后者至该辅助电源(72 ) 当阴极组件变成短路,并切断从阴极 组件来之辅助电源(72 )并恢复电 力供应至后者从该直流电源(60 ) 当在阴极组件上之短路已消失。10.如请求专利部 份第凡项之一装置,其 特征为该第一和第二关闭装债(68, 70;80一86)为电驿操作开关,而 且该控制装置(90 )包括一开关( 92 )选择性地可操作以完成各个电 驿操作开关之引动11.如请求专利部份策9.项之一 装置,其 特征为该控制装置(110一114)包 括输入一和一输出装置(110)用以 监测电压和电流状况其反应阴极组件 之短路存在和不存在,和一程序控制 器(114)响应该输入一和一输出装 置(110)用以自动地引动该些第一 和第二开关装置以该方式。 12如请求专利部份第8.,9.,10.或11.项 之一装置,其特征为短路指示装置( 88 )提供超过一预定期限之阴极短 路持续之一指示。 13.如请求专利部份第8.,9.,10.,11.或 12项之一装置,其特征为该辅助电源 (72 )包括一高功交流电源其提供 一输出电压其不足以产生一溅散电浆 14.如请求专利部份第13.项之一装置,其 特.徵为该高功率交流电源(72)包括 一降压变压器其具有一二次绕阻适合 被连接至阴极组件(52,或54 )用 以供应该电能至那里。 15.如请求专利部份第14.项之一装置,其 特征为该二次绕阻已串联连接电流一 限制镇流装置(88)其适合被实施 具有一预定时间延迟按着连接该高功 交流电源(72)至阴极组件,该时 间延迟超过正常需要之时间跨距以完 成短路沈积物之蒸发。 16.如请求专利部份第8.项至第15.项其中 任何一项之装置,其中该喷镀室包含 一値以上之该阴极组件,其特征为该 辅助电源(72 )已联合选择器开关 装置(102)用以选择性地连接辅助 电源(72 )至任何其中一个阴极组 件(52,54)于喷镀室(12 )内。 |
