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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01319681(A) 申请公布日期 1989.12.25
申请号 JP19880150606 申请日期 1988.06.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOBAYASHI TOSHIYUKI;KINOSHITA YOSHIMI;ODA MASAO
分类号 C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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