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发明名称 HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0228326(A) 申请公布日期 1990.01.30
申请号 JP19880179724 申请日期 1988.07.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OMURA ETSUJI;TAKAHASHI SHOGO
分类号 H01L21/324;H01S5/00 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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