发明名称 TESTING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0232268(A) 申请公布日期 1990.02.02
申请号 JP19880184003 申请日期 1988.07.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIBASHI RYOJI
分类号 G01R31/26;G01R31/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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