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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH0270060(A)
申请公布日期
1990.03.08
申请号
JP19880219107
申请日期
1988.09.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
SHIMADA KATSUTO
分类号
H01L39/24;C23C16/04;C23C16/30;H01B13/00
主分类号
H01L39/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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