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发明名称 INSPECTION APPARATUS OF LOGICAL CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0280987(A) 申请公布日期 1990.03.22
申请号 JP19880232321 申请日期 1988.09.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUZUKI SHUSUKE
分类号 G01R31/317;G01R31/28;G06F17/50 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
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