| 发明名称 |
APPARATUS FOR SPECTRAL ANALYSIS WITH HIGH RESOLUTIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02130433(A) |
申请公布日期 |
1990.05.18 |
| 申请号 |
JP19880270600 |
申请日期 |
1988.10.25 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
RUUDORUFU MIYURAA;UORUFUGANGU ARUBERUTSUHOOFUAA |
| 分类号 |
G01J3/36;G01J3/26;G01J3/28;H01L27/144;H01L31/0216;H01L31/10 |
主分类号 |
G01J3/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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