高解析度防震式单频雷射干涉测长仪

摘要

一种新型式之单频雷射干涉测长仪，其能提供0.04微米之解析度并且不为被测物之倾摇震动行为所干扰，其包括：一静止基台；一单频雷射；其固定于该静止基台，用以发出单一频率之雷射光；一偏光器，其固定于该静止基台，用以将自该雷射发出之单一频率之雷射光分成水平振动成分与垂直振动成分；一第一四分波片，其固定于该静止基台，用以将该雷射光之水平振动成分的相位加快成较其垂直振动成分之相位快四分之一波长；一第一光束分割器，其固定于该静止基台，用以将自第一四分波片出来之雷射光分成物体光束及参考光束；一第二四分波片；其固定于该静止基台，用以将自第一光束分割器分割出来之参考光束的水平振动成分之相位加快成较其垂直振动成分之相位再快四分之一波长；一直角反射镜，其固定于待测物体上，用以将来自第二四分波片之物体光束以平行方向反射回去；一第一平反射镜，其固定于该静止基台，用以将来自直角反射镜之物体光束沿同一路径反射回去，使物体光束回至第一光束分割器，并在第一光束分割器折向；一第二平反射镜，其固定于该静止基台，用以将被第一光束分割器折向之物体光束再度折向；一第三平反射镜，其固定于该静止基台，用以将来自第一光束分割器之参考光束折向；一第四平反射镜，其固定于该静止基台，用以将来自第三平反射镜之参考光束再度折向；一第二光束分割器，其固定于该静止基台，用以合成来自第二平反射镜之物体光束及来自第四平反射镜之参考光束；一偏光分光器，其固定于静止基台，用以将来自第二光束分割器之合成光束分成水平振动光束及垂直振动光束；一第一光感测器，用以接收来自该偏光分光器之水平振动光束，并将水平振动光束之强度转换成第一电气信号；一第二光感测器，用以接收来自该偏光分光器之垂直振动光束，并将垂直振动光束之强度转换成第二电气信号；一电路装置，其接收来自第一光感测器及第二光感测器之第一及第二电气信号，并将该二电气信号之干涉周期均分成四等分于每一等分处产生一脉冲，并计算所产生之该脉冲之总数，然后将该总数乘以单频雷射之波长之十六分之一，并将其积以电气信号输出；以及一显示装置，其接受来自该电路装置之电气信号，并将该积显示出来，表达直角反射镜随同待测物体所移动之距离，而完成量测功能。

主权项

以在操作中连续控制在每个螺管内之电枢位置以控制每个糖汁及水之流率。6.依申请专利范围第5顶之装置其中前述的移动装置包括一马达连接于前述可动栓装置,在每个前述管路内之流体计及微处理机装置接收来自前述流体计之讯号并供应讯息到前述马达。7.依申请专利范围第6项之装置其中前述的饮料分配器阀包括一管嘴及一弹性偏压杯启动的杠杆臂连接于装置用于反应前述杠杆臂移动之距离而控制及改变来自前述管嘴之饮料的流率。8.依申请专利范围第1项之装置,其中之螺管阀包括一缘圈,一电枢管,一电枢可动地定位于前述电枢管中,一弹簧偏压前述电枢向着其解除激励之位置,及一阀段件在前述电枢的远极端,其改进包括:(a)一可动栓在前述电枢管中邻近于前述电枢之近极端,以在激励时控制前述电枢之位置;及(b)装置用于移动前述可动栓以改变前述电枢之位置。9.依申请专利范围第8项的装置其中的前述阀段件是一针状阀。10.依申请专利范围第8项的装置其中前述之移动装置包括一步阶式马达,一螺纹杆及齿轮装置连接于前述马达及杆间以转换前述马达之转动成为前述杆之线性运动。11.依申请专利范围第10项的装置其中前述的阀段件是一针状阀而其中前述针状阀之约1/8移动逐渐改变经前述螺管阀之开口尺寸自关闭到完全打开。图示简单说明:图1是本创作之可调流体螺管阀的一个实体之部份剖视图;图2是本创作另一实体的部份剖视图;图3是本创作更另外一实体的部份剖视图;图4是使用本创作可调流体螺管阀之本发明饮料分配器的部份示意侧视图示;图5是本创作之一较佳实体的部份剖视图。图6是具有控制及变化来自管嘴的全体流率之本创作饮料分配器之部份示意侧视图示。