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发明名称 VARIABLE FAIRING DIAPHRAGM
摘要
申请公布号 JPH03205815(A) 申请公布日期 1991.09.09
申请号 JP19900000676 申请日期 1990.01.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KURODA KATSUHIRO;TODOKORO HIDEO
分类号 G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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