| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TESTING INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0547883(A) |
申请公布日期 |
1993.02.26 |
| 申请号 |
JP19910225334 |
申请日期 |
1991.08.12 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
NAGATSUMA TADAO;SHINAGAWA MITSURU |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R19/00;G01R31/302 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
