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发明名称 VACUUM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05106041(A) 申请公布日期 1993.04.27
申请号 JP19910269254 申请日期 1991.10.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMAMURA AZUSA;KITSUNAI HIROYUKI;KOIKE TOSHIFUMI
分类号 C23C14/56;C30B25/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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