| 发明名称 |
METHOD FOR CHANGING OVER RAW MATERIAL GAS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05148083(A) |
申请公布日期 |
1993.06.15 |
| 申请号 |
JP19910309534 |
申请日期 |
1991.11.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ANDO HIDEYASU;ISHIKAWA HIDEAKI |
| 分类号 |
C30B23/08;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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