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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05166801(A) 申请公布日期 1993.07.02
申请号 JP19910335172 申请日期 1991.12.18
申请人 SHARP CORP 发明人 TATSUOKA HIDEHISA;TORII MITSUNORI;YAMAUCHI YOSHIMITSU
分类号 H01L21/318;H01L21/768 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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