发明名称 CERAMIC ROTATIONAL CATHODE TARGET AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05214526(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19920250544 申请日期 1992.08.26
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 KIDA OTOJIRO;MITSUI AKIRA
分类号 C23C4/04;C23C14/34 主分类号 C23C4/04
代理机构 代理人
主权项
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