| 发明名称 |
PROCESS FOR COATING A PHOTORESIST COMPOSITION ONTO A SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0466770(A4) |
申请公布日期 |
1993.10.20 |
| 申请号 |
EP19900905877 |
申请日期 |
1990.03.27 |
| 申请人 |
OLIN HUNT SPECIALITY PRODUCTS INC. |
发明人 |
DARAKTCHIEV, IVAN, S. |
| 分类号 |
B05D1/40;B05D1/02;G03F7/16;(IPC1-7):B05D3/06 |
主分类号 |
B05D1/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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