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发明名称
FORMATION METHOD FOR WIRING OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0669204(A)
申请公布日期
1994.03.11
申请号
JP19920107198
申请日期
1992.04.27
申请人
NEC CORP
发明人
OI SUSUMU
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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