发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WITH MULTILAYERED WIRING CONSTRUCTION
摘要
申请公布号 JPH06163725(A) 申请公布日期 1994.06.10
申请号 JP19920330006 申请日期 1992.11.16
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TANI TOMOFUNE
分类号 H01L21/316;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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