一种新型籽晶夹头

摘要

本实用新型属半导体材料制备设备领域，特别涉及一种新型籽晶夹头。籽晶夹头由夹头座和夹头嘴组成，夹头嘴的上部和夹头座的下连接孔螺纹连接，夹头嘴由左右对称的两个半圆块组成，每个半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，夹头嘴的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成方形工字型卡槽，籽晶为正方形截面的长方体，上端部有工字型头，籽晶通过工字型头和夹头嘴的方形工字型卡槽安装在夹头嘴上，再通过夹头座的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接，把籽晶夹头和籽晶安装在晶体生长机上。本实用新型的籽晶是方形，不需要滚磨工序，切割可以保证精确的晶向，用于生长锗单晶和锗多晶，能够保证晶体生长后的晶向。

主权项

1.一种新型籽晶夹头，其特征在于：所述籽晶夹头中夹头座(1)为圆柱体，上下分别有上和下连接孔，夹头嘴(2)的上部为圆柱体，和夹头座(1)的下连接孔螺纹连接，下部为圆锥体，夹头嘴(2)由左右对称的两个半圆块组成，每个夹头嘴半圆块的圆锥体一端中心有一个长方形卡槽，长方形卡槽底面中部有一个凸台，夹头嘴(2)的两个半圆块合在一起其长方形卡槽组成正方形工字型卡槽(4)，籽晶(3)为正方形截面的长方体，上端两个相对侧面上的凹面构成工字型头(5)，籽晶(3)通过工字型头(5)和夹头嘴的正方形工字型卡槽(4)安装在夹头嘴(2)上，再通过夹头座(1)的上连接孔和晶体生长机重锤螺纹连接。