发明名称 彩色光刻胶的清洗剂
摘要 本发明提供一种彩色光刻胶的清洗剂,其配方:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。采用科学的配方,配制的清洗剂能够安全环保的清洗管道内壁上的彩色光刻胶残胶,保证正常生产,应用极为方便。
申请公布号 CN101520612A 申请公布日期 2009.09.02
申请号 CN200910026138.8 申请日期 2009.04.01
申请人 苏州瑞晶化学有限公司;苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 发明人 顾奇;朱海盛
分类号 G03F7/42(2006.01)I 主分类号 G03F7/42(2006.01)I
代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司 代理人 陈忠辉
主权项 1. 彩色光刻胶的清洗剂,其特征在于其组分具有如下的重量百分比:1~10wt%无机碱氢氧化物或烷基氢氧化铵或苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,0.1~10wt%聚氧乙烯醚,0.01~0.1wt%聚醚多元醇,80~96%纯水。
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