一种粉料燃烧炉

摘要

本发明涉及一种粉料燃烧炉，包括燃烧器(1)和球化炉，其特征是燃烧器(1)的中心设有一个喷气孔(101)、以及三层环形喷气通道(102、103、104)。无机粉料与氧气混合后从喷气孔(101)中喷出，与环形喷气通道(102、103、104)喷射出的天然气、氧气在燃烧室内混合燃烧。本发明的优点是：外层环形保护氧能有效地保护粉体颗粒不粘炉壁，确保富痒燃烧，可用得到具有高介电、高填充率、低膨胀、低应力、高流动性等优越性能球形硅微粉，应用在大规模、超大规模集成电路的基板和封装料中。

主权项

1、一种粉料燃烧炉，它包括燃烧器(1)和球化炉内(2)，其特征在于：燃烧器(1)的中心设有一个内环氧中心喷气孔(101)，以及围绕燃烧器中心设置的三层环形喷气通道(102、103、104)。