Laser-Scanning-Mikroskop mit variabler Lichtintensität und Steuerverfahren für ein solches

摘要

Die Lichtintensität eines Laserstrahls in einem LSM wird bisher mit hoher Genauigkeit, aber kostenaufwendig mittels eines akustooptischen Bauelements (AOM, AOTF) kontrolliert. Die Erfindung soll den Verzicht auf ein solches Bauelement zur Strahlmodulation ermöglichen, ohne die Belichtungsgenauigkeitrekt modulierte Laserdiode (10), die bei Beaufschlagung mit einer elektrischen Steuergröße eine von dem Betrag der Steuergröße abhängige Anstiegsverzögerung der Lichtintensität aufweist, mit einer elektrischen Ansteuerung (12) für die direkte Modulation eingesetzt, wobei die Ansteuerung (12) derart ausgebildet ist, dass die Schwankungsbreite (DeltaDeltatV) der auftretenden Anstiegsverzögerungen (DeltatV) kleiner als 1 µs, insbesondere kleiner als 0,5 µs, ist. So ist eine hochgenaue Modulation ohne akustooptisches Bauelement möglich. Insbesondere gelingt eine schnelle direkte Modulation durch folgende Schritte: a) Identifizieren, dass eine mit der Laserdiode (10) zu erzielende oder erzielte Intensität unter einen unteren Grenzwert fällt oder unter dem unteren Grenzwert liegt, b) Stromlosschalten der Laserdiose (10), c) Bereitstellen eines elektrischen Zwischenstroms, d) Identifizieren, dass die zu erzielende Intensität über einen oberen Grenzwert steigt, e) Durchströmen der Laserdiode (10) mit dem Zwischenstrom und f) Einstellen des Diodenstroms entsprechend der zu erzielenden Intensität. Mikroskopie.