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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturelementen
摘要
申请公布号 DE10228807(B4) 申请公布日期 2009.07.23
申请号 DE2002128807 申请日期 2002.06.27
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 MAZUR, MARTIN;HARTIG, CARSTEN;SULZER, GEORG
分类号 H01L21/336;H01L21/027;H01L21/033;H01L21/28;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/8234 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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