发明名称 Carrier head
摘要
申请公布号 EP1498224(A3) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20040016661 申请日期 2004.07.15
申请人 JUNKER & PARTNER GMBH 发明人 GELLERT, KLAUS-DIETER;ZIMMER, FRANK
分类号 B25B11/00 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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