发明名称 | 真空镀膜设备 | ||
摘要 | 本实用新型提供的真空镀膜设备,有真空室[1],真空室内安装有工件架[6],真空室上有供工件进出的门[2],所说门设置在真空室顶部。本实用新型提供的真空镀膜设备,将供工件进出的门设置在真空室的顶盖上,使工件可以从顶部单根吊装到工件架上。即工件是从顶部吊入并装到工件架上的,与现有技术相比,本实用新型克服了工件进出时大型工件进出无法应用吊装工具或不能单根吊装的不足。 | ||
申请公布号 | CN201276592Y | 申请公布日期 | 2009.07.22 |
申请号 | CN200820166972.8 | 申请日期 | 2008.10.24 |
申请人 | 舟山市汉邦机械科技有限公司 | 发明人 | 陆汉良 |
分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 | 舟山固浚专利事务所 | 代理人 | 范荣新 |
主权项 | 1、一种真空镀膜设备,有真空室,真空室内安装有工件架,真空室上有供工件进出的门,其特征是所说门设置在真空室顶部。 | ||
地址 | 316000浙江省舟山市定海区马岙镇景陶路27号 |