发明名称 | 氧化锌薄膜制备方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种材料技术领域的氧化锌薄膜制备方法,步骤为:第一步,制备前驱体溶液:称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中,在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子充分络合,然后去塞,加入乙二醇,持续加热并搅拌,待溶液冷却后,加入乙醇并于保温。第二步,薄膜的基本制备工艺为:在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液,待乙醇基本挥发完毕后摊胶,然后预烧初步去除有机物,过程重复以达到目标厚度,最后退火。本发明采用改进的水基Pechini方法制备出了高质量的ZnO薄膜。除了采用去离子水作为溶剂外,乙醇被用来改善前驱体溶液的性质以提高薄膜的质量。 | ||
申请公布号 | CN100515953C | 申请公布日期 | 2009.07.22 |
申请号 | CN200710046153.X | 申请日期 | 2007.09.20 |
申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 何刚;吴紫阳;蔡金华 |
分类号 | C01G9/02(2006.01)I | 主分类号 | C01G9/02(2006.01)I |
代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王锡麟;王桂忠 |
主权项 | 1、一种氧化锌薄膜制备方法,其特征在于,包括以下步骤:第一步,制备前驱体溶液:称取硝酸锌和柠檬酸溶于去离子水中,混合溶液在磁力搅拌器上具塞加热使得柠檬酸能够和阳离子Zn2+充分络合,然后去塞,加入乙二醇,溶液持续加热并搅拌直到剩余溶液阳离子Zn2+浓度为0.7M,待溶液冷却后,加入乙醇并于水浴中具塞保温;第二步,薄膜的基本制备工艺为:在衬底上滴数滴第一步制备得到的前驱体溶液,待乙醇基本挥发完毕后摊胶,然后预烧初步去除有机物,过程重复以达到目标厚度,最后退火。 | ||
地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 |