发明名称 Method for water vapour enhanced ion-beam machining
摘要
申请公布号 EP1205967(B1) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20010130911 申请日期 1996.04.08
申请人 NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITY 发明人 RUSSELL, PHILLIP E.;GRIFFIS, DIETER P.;SHEDD, GORDON M.;STARK, TERRENCE J.;VITARELLI, JAMES
分类号 C23F4/00;H01L21/306;H01J37/305;H01J37/32;H01L21/04;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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