| 发明名称 |
Method and apparatus for measurement of the thickness of thin films by means of a measurement probe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2438944(B) |
申请公布日期 |
2009.07.22 |
| 申请号 |
GB20070009051 |
申请日期 |
2007.05.10 |
| 申请人 |
IMMOBILIENGESELLSCHAFT HELMUT FISCHER GMBH & CO.KG |
发明人 |
HELMUT FISCHER |
| 分类号 |
G01B7/06;B21B38/04;G01B13/06;G01B21/08 |
主分类号 |
G01B7/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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