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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING HIGH POWER MICROWAVE PLASMA
摘要
申请公布号 EP2080214(A1) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20070818909 申请日期 2007.10.11
申请人 IPLAS INNOVATIVE PLASMA SYSTEMS GMBH 发明人 SPITZL, RALF
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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