真空泵

摘要

一种真空泵，具有一个主泵和一个副泵，该真空泵的旋转轴被驱动源驱动旋转。主泵包括一个泵室和一个被设置在泵室中的气体输送体。主泵通过旋转轴被驱动源驱动，以将气体输送给排气空间。副泵被连接到排气空间，以部分地从排气空间排出气体。副泵被同一驱动源驱动。副泵的排量小于主泵的排量。

主权项

1.一种真空泵，包括：一个主泵，该主泵包括一个泵室、一个被设置在泵室中的气体输送体，和一个与泵室连通的排气空间，主泵通过旋转轴被驱动源驱动，将气体输送给排气空间；一个止回阀，被设置在排气空间下游用来防止气体回流；一个副泵，该副泵被连接到排气空间，用来部分地从排气空间排出气体，副泵由同一驱动源驱动，副泵的排量小于主泵的排量；以及一个副泵的放泄道，与止回阀下游的气体通道相通，其特征在于：所述主泵是罗茨泵，该罗茨泵包括：被设置成彼此平行的多个旋转轴，其中的一个旋转轴由罗茨泵的驱动源驱动；作为分别连接到旋转轴上的气体输送体的多个主转子，相邻旋转轴上的主转子彼此啮合；以及作为容纳一套啮合主转子的泵室的多个主泵室，其中之一具有最小容积并与排气空间相通，所述副泵是一个隔膜泵，该隔膜泵包括隔膜、吸入阀和排气阀，所述隔膜被设置成隔膜平面与由罗茨泵驱动源驱动的旋转轴轴线的假想延伸线相交。