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发明名称 AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING, CHEMICAL MECHANICAL POLISHING METHOD, KIT FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING, AND KIT FOR PREPARING AQUEOUS DISPERSION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING
摘要
申请公布号 EP2006890(A9) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20070739933 申请日期 2007.03.27
申请人 JSR CORPORATION 发明人 UCHIKURA, KAZUHITO;SHIDA, HIROTAKA;HASHIGUCHI, YUUICHI;MINAMIHABA, GAKU;FUKUSHIMA, DAI;TATEYAMA, YOSHIKUNI;YANO, HIROYUKI
分类号 H01L21/3105;B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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