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发明名称 SiO DEPOSITION MATERIAL, RAW MATERIAL Si POWDER, AND METHOD FOR PRODUCING SiO DEPOSITION MATERIAL
摘要
申请公布号 EP1795624(A4) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20050770381 申请日期 2005.08.09
申请人 OSAKA TITANIUM TECHNOLOGIES CO., LTD. 发明人 NISHIOKA, KAZUO;KIZAKI, SHINGO
分类号 C23C14/24;C01B33/037;C01B33/113 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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