基板夹持装置

主权项

1.一种基板夹持装置，包括：一本体，该本体的一端延伸一弧部；一爪部，一端与该弧部连接；一挡板，位于该本体上；以及一粗糙部，位于该爪部的上表面。2.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该粗糙部包含复数凸块。3.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，更包括一第一U型沟槽位于该弧部的上表面，且该第一U型沟槽与该粗糙部相邻。4.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，更包括一第二U型沟槽位于该弧部的侧边。5.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该本体上系有一第一连接部，该第一连接部系与该挡板相互配合。6.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该挡板的一端的长度小于或等于该弧部的水平长度。7.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该挡板系为铁氟龙。8.如申请专利范围第5项所述之基板夹持装置，其中该第一连接部系一凹槽，如T型槽、鸠尾槽。9.如申请专利范围第4项所述之基板夹持装置，其中该挡板上系有一开口，且该开口系位于该第二U型沟槽的下端的正下方。10.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，更包括一锁固元件位于该本体上，且该锁固元件与水平地面之间的距离，小于该挡板与水平地面之间的距离，该锁固元件可将基板夹持装置与一机台连接。11.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其系应用于镀膜制程。12.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该爪部可用来固定一玻璃基板。13.如申请专利范围第1项所述之基板夹持装置，其中该本体之材料系为聚苯并咪唑(poly benzo imidazole，PBI)。图式简单说明：第1图系先前技术之基板夹持装置在机台上的示意图和立体图。第2A图~第2B图系先前技术之基板夹持装置处于不同使用时间的示意图。第3图系先前技术之基板夹持装置固定玻璃基板的使用示意图。第4图系本创作之基板夹持装置在机台上的示意图和立体图。第5图系本创作之基板夹持装置的立体图。第6A图~第6B图系本创作之基板夹持装置处于不同使用时间的示意图。第7图系本创作之挡板的俯视图。第8图系本创作之基板夹持装置的侧面示意图。