电浆辅助有机薄膜沉积装置

摘要

本发明系提供一种电浆辅助有机薄膜沉积装置，其主要系由一电浆产生室及一沉积室构成，该电浆产生室可进行电浆热裂解该电浆产生室内之可聚合材料气体；该沉积室系与该电浆产生室连通，用以接收该热裂解之可聚合材料气体，该沉积室包括一基板装置，该基板装置系可供该热裂解之可聚合材料气体沉积于其上以形成有机薄膜；由于电浆产生室与沉积室分离，因此可提供一低温薄膜沉积制程，并可避免电浆离子直接撞击基板；另可于该电浆产生室出口端设置导流装置，对可聚合材料气体产生导流或扰流作用，避免过度集中于出口端或基板中心，可有效改善有机薄膜表面粗糙度并提升其均匀性。