发明名称 防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件用之防护薄膜组件收纳容器、及将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内之方法
摘要 本发明的目的在于提供一种防护薄膜组件、收纳防护薄膜组件用之防护薄膜组件收纳容器、及将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内之方法,特别是在大型防护薄膜组件中,可不使用隔离部而将防护薄膜组件保存于防护薄膜组件收纳容器内。为达成上述目的,在防护薄膜框架的遮罩粘接剂侧端面的一部分上形成未涂布遮罩粘接剂的区域,将该未涂布区域载置于设置在防护薄膜组件收纳容器内部且由聚矽氧烷凝胶等材料所构成的防护薄膜框架支持部上,再来,利用可插入设置在防护薄膜框架侧面上之孔部内的固定销与固定销的保持机构将防护薄膜框架保持固定在防护薄膜组件收纳容器内。由于不使用隔离部也能保护粘接层,故无须设置隔离部。
申请公布号 TW200923571 申请公布日期 2009.06.01
申请号 TW097145156 申请日期 2008.11.21
申请人 信越化学工业股份有限公司 发明人 关原一敏
分类号 G03F1/14(2006.01) 主分类号 G03F1/14(2006.01)
代理机构 代理人 周良谋;周良吉
主权项
地址 日本