| 摘要 |
提供一种喷墨头之涂布液供给装置及涂布液供给方法，具备中间槽，无涂布液之滞留部分且仅以涂布液之供给将空气排出而可充满涂布液，即使对喷墨头之涂布液供给量为多时，亦可将喷墨头之涂布液吐出量精度维持所需的负压小小的变化。上述喷墨头之涂布液供给装置具备：涂布液槽，充填涂布液；中间槽，位于涂布液槽与喷墨头之中间，可将涂布液暂时地以定容量贮存；上述中间槽具备有：流路，从来自于涂布液槽之涂布液流入的入口，朝向涂布液流出到喷墨头之出口；及面可挠性膜，因应于贮存的涂布液容量而配置成在大致重力方向可作位置变化；且上述流路之出口系配置在比流路之入口更位于重力方向之上方。 |
