发明名称 铜电镀浴配方
摘要 本发明系提供一种铜电镀溶液组成物,其系沈淀均匀且光滑的铜电镀膜,且即使所形成之铜电镀膜系相对薄,仍具有良好的外观。该铜电镀溶液组成物包含特定体积的氯离子及溴离子。
申请公布号 TW200923138 申请公布日期 2009.06.01
申请号 TW097129490 申请日期 2008.08.04
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 林慎二郎;泷口久范
分类号 C25D3/38(2006.01) 主分类号 C25D3/38(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国