| 摘要 |
将与载置位置系为多样化之处理室之间的基板授受，在短时间内进行。在A旋转构件(13)或B旋转构件(14)为静止之状态下，若是第1～第4驱动轴(11#sB!1#eB!～11#sB!4#eB!)作旋转，则第1～第4载置部(15#sB!1#eB!～15#sB!4#eB!)，系于其之一边的延长线上作直线移动。第1驱动轴(11#sB!1#eB!)与A旋转构件(13)、第2驱动轴(11#sB!2#eB!)与B旋转构件(14)、第3驱动轴(11#sB!3#eB!)与A旋转构件(13)、第4驱动轴(11#sB!4#eB!)与B旋转构件(14)，若是在同一角度同一方向作旋转，则第1～第4载置部(15#sB!1#eB!～15#sB!4#eB!)系被作旋转移动。若是将直线移动与旋转移动作组合，则能够使第1～第4载置部(15#sB!1#eB!～15#sB!4#eB!)移动至所期望之场所处。 |
