| 发明名称 |
Interferometrische Messung einer Trägerplattenposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60133433(T2) |
申请公布日期 |
2009.04.16 |
| 申请号 |
DE20016033433T |
申请日期 |
2001.05.31 |
| 申请人 |
CANON K.K. |
发明人 |
IWAMOTO, KAZUNORI;ASANO, TOSHIYA |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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