晶圆解除夹持时用以减少晶圆上之颗粒数量的方法与设备

摘要

在腔室中，系在远离晶圆传送区域之处捕集粒子。第一电极系在该区域之一侧上。第二电极系在该区域之一对向侧上。跨越电极而连接之电源在电极之间建立静电场。此电场会在远离区域的电极捕集粒子。为了要从腔室传送晶圆，第二电极安装用于处理之晶圆，且第一电极与界定出处理空间的第二电极相对。该区域是在该空间中，该区域之分离部分将该区域与各电极分开。藉由同时进行终止晶圆之电浆处理、使第二电极接地、施加正DC电位于第一电极、及从第二电极使晶圆解除夹持而进入该区域，可以将粒子推离晶圆。