| 发明名称 |
Testvorrichtung für Halbleiterbauelemente |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10297415(B4) |
申请公布日期 |
2009.04.16 |
| 申请号 |
DE2002197415 |
申请日期 |
2002.11.08 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP. |
发明人 |
SUDOU, SATOSHI;WATANABE, NAOYOSHI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/3183;G01R31/26;G01R31/319;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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