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发明名称 CVD-BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE50114744(D1) 申请公布日期 2009.04.16
申请号 DE20015014744 申请日期 2001.08.24
申请人 AIXTRON AG 发明人 JUERGENSEN, HOLGER;KAEPPELER, JOHANNES;STRAUCH, GERD
分类号 C23C16/458;C30B25/12;H01L21/205 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
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