准分子灯

摘要

课题 提供有效率地可利用波长150nm附近的短波长的光，而可构成作为具有高处理能力者的准分子灯。解决手段 一种准分子灯，属于具备备有放电空间的二氧化矽玻璃所构成的放电容器，在介设有形成该放电容器的二氧化矽玻璃的状态下设有一对电极，而且在放电空间内封入有氙气体所成，而在上述放电容器的放电空间内发生准分子放电的准分子灯，其特征为：在曝露于上述放电容器的放电空间的表面，形成有二氧化矽粒子与氧化铝粒子所形成的紫外线反射膜，含有于该紫外线反射膜的矽及铝以外的杂质金属的浓度为700wtppm以下。