具有旋转过滤装置的微影装置

摘要

本发明揭示一种包括一过滤器件之微影装置。该过滤器件具有附着至一能够围绕一旋转轴线而旋转之固持器的复数个箔片。该等箔片经配置成大体上平行于该旋转轴线。该等箔片包含一选自由碳-碳复合物(C-C复合物)及碳-碳化矽复合物(C-SiC复合物)组成之群组的单向碳-纤维复合材料。在操作期间，该过滤器件旋转且滤出来自一诸如一Sn电浆源之辐射源的碎片。可提供该过滤器件本身。