电子装置制程构件之非即时调节的方法与设备

摘要

在一态样中，提供了一种电子装置制造设备性能的提升方法，包括下列步骤：减少利用生产设备所执行之电子装置制造元件调节步骤的数目，藉其减少电子装置制造系统的停工时间。本发明亦提供了数种其他态样。