振荡梁磁力计

摘要

在一个实施例中，集成磁力计具有可变形的导电梁，该梁安装到基板上并适于相对于该基板振荡。当该振荡梁暴露于磁场时，磁场感应出振荡电动力，该力沿着该梁产生振荡电信号。磁力计具有检测电路，该电路检测这个振荡电信号，并基于该检测结果，确定磁场强度和/或磁场梯度。

主权项

1、一种装置，包括：振荡器；梁，该梁沿着其长度具有电路径，其中该振荡器被配置为，机械振荡该梁，以响应在磁场中正被振荡的梁在路径中产生振荡电信号；和检测电路，该检测电路电耦合到该路径，并被配置为基于该振荡电信号产生磁场的测量值。