嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统

摘要

嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统属于半导体制造装备技术领域；在基台上位于工件台A与工件台B之间位置处沿X方向嵌入两个相互平行配置的X向单板直线电机定子，该两个单板直线电机定子分别与工件台A和工件台B上的X向单板直线电机动子依次相对配合，X向单板直线电机定子上表面与基台基准面平行，且嵌入在基台凹槽内，并在X向单板直线电机定子四周填充联接材料；本系统避免了单边驱动的质心偏置和单边变速驱动产生的变化惯性转矩引起的工件台振动和不稳定，结构简化，刚度加强，可靠性提高。

主权项

1.一种嵌入式共基面二维平衡双驱双工件台定位系统，包括基台(1)、工件台A(4)、工件台B(5)、晶圆A(6)、晶圆B(7)、由U型槽直线电机(8a)、气浮导轨轴套(8b)、Y向导向面(8c)组成的两对Y向双侧同步直线电机单元(8)、两个X向单板直线电机动子(10)、十字型定位搭接机构(11)、由U型槽直线电机(12a)、气浮导轨(12b)、气浮轴套(12c)构成的两个X向单侧直线电机单元(12)、可伸缩导向杆(13)、工件台定位凹口A(14)、工件台定位凹口B(15)、工件台定位凹口C(16)、工件台定位凹口D(17)和气浮轴承(18)，其特征在于在基台(1)上位于工件台A(4)与工件台B(5)之间位置处沿X方向嵌入两个相互平行配置的X向单板直线电机定子(9)，该两个单板直线电机定子分别与工件台A(4)和工件台B(5)上的X向单板直线电机动子(10)依次相对配合。