发明名称 |
多栅极印刷晶体管方法及装置 |
摘要 |
一种印刷晶体管具有:第一栅极(202),印刷和沉积在半导体材料印刷沉积(201)的第一侧;和第二印刷栅极(301),沉积在所述半导体材料印刷沉积的相对侧。通过一种方法,使用一系列印刷工艺来提供这些元件。通过另一种方法,使用层叠工艺来提供这些元件。 |
申请公布号 |
CN101410998A |
申请公布日期 |
2009.04.15 |
申请号 |
CN200680039816.9 |
申请日期 |
2006.10.16 |
申请人 |
摩托罗拉公司 |
发明人 |
张婕;哈基姆·B·阿德沃莱;保罗·W·布拉齐斯;蒂莫西·J·科林斯;丹尼尔·R·加莫塔;约翰·B·什切西;耶日·维尔古斯 |
分类号 |
H01L35/24(2006.01)I;H01L49/02(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L35/24(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
刘光明;穆德骏 |
主权项 |
1.一种晶体管,包括:半导体材料印刷层;第一印刷栅极,设置在所述半导体材料印刷层的第一侧;第二印刷栅极,设置在所述半导体材料印刷层的第二侧,该第二侧与所述第一侧相对。 |
地址 |
美国伊利诺伊州 |