带有非线性支撑的模拟MEMS

摘要

公开的实施例展现了带有转动微镜(102)的模拟MEMS器件，该转动微镜由提供非线性阻力的一个或多于一个梁支撑。电极(105)可以静电吸引微镜，而(多个)梁(120)对偏转提供阻力。当力量相等时，微镜保持在目标角。本发明实施例公开的梁支撑优于传统扭转铰链支撑(150)，这是因为本发明的梁支撑为微镜提供非线性支撑，这能更好地匹配静电力的非线性特性。

主权项

1.一种MEMS器件，其包含：基底；微镜，其转动地安装到所述基底上，所述微镜具有由转动安装限定的转动线轴线；静电致动器，其与所述微镜以某种方式电连通，从而允许静电地使所述微镜充分地绕所述转动线轴线转动；以及柔性梁，其在所述基底上被支撑，所述梁被机械地连接到所述微镜并远离所述微镜的转动线轴线，由此所述梁的力-偏转特性与所连接的微镜机械地相互作用。