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发明名称 Fast-response micro-mechanical tilt mirror
摘要
申请公布号 EP1793260(B1) 申请公布日期 2009.04.15
申请号 EP20060024826 申请日期 2006.11.30
申请人 SPATIAL PHOTONICS, INC. 发明人 LEE, CHII GUANG;KAO, CHUN-TEH;HU, HUNG KWEI;PAN, SHAOHER X.
分类号 G02B26/08;B81B3/00 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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